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【手术间成品彩99首页门】洁净度等级

时间:2015-5-4 点击:1010次

手术间成品彩99首页门】洁净度等级
所谓的彩99首页室是一个人造的环境里面含有的粒子远低于一般的环境,随着集成电路技术的快速成长,也增加了对制造环境(没有尘室)洁静度的需求,在工业上即使粒子之尺寸小于1微米,也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。
依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Standard(FS)209E, 1992】,可将彩99首页室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级,如果彩99首页室的等级只用尘粒数目来叙述,则可假设尘粒的尺寸为0.5?m,例如,1级、10级、100级彩99首页室zui大尘粒数目分别小于或等于1颗、10颗、100颗,如果尘粒尺寸不是0.5?m,彩99首页室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如:10级在0.2?m(尘粒尺寸在0.2?m或更大下,密度不大于75颗/立方英?),1级在0.1?m(尘粒尺寸在0.1?m或更大下,密度不大于35颗/立方英)。而集成电路制造所需的彩99首页室之洁净度必须优于1000级。
为保持手术间成品彩99首页门的洁净度,进出的人员有一定的穿著规定;10000与100000级,必须穿著长袍没有尘衣、没有尘鞋、带帽子与面罩;1000级(含)以上,需穿著特殊的洁净连身衣、没有尘鞋将全身裹住,并带上手套和面罩。
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